广东石墨框

产品内容说明 /Product description

　　广东石墨框具有耐高温、导热性强、散热均匀等特点，是很好的工业高温加热器皿，产品根据不通过客户的需要，尺寸不等。

　　我们的石墨框具有以下特点：

　　1、热稳定性：针对急热急冷的使用条件，进行特别处理从而保证产品质量的可靠性；

　　2、耐侵蚀性：均匀细密的材质结构，延缓了使用时的受侵蚀度；

　　3、耐冲击性：所能承受的热冲击强度高，因此工艺处理都可以放心进行；

　　4、耐酸性：特殊材料的加入改善了材质的物理性质，在耐酸化指标方面表现好，可有效延长石墨的使用寿命；

　　5、高热传导性：高含量的固定碳保证了良好的热传导性，缩短溶解的时间，降低了能耗；

　　6、质量稳定性，均匀的等静压成形法的制作技术工艺和质量控制体系更充分保证了材质的稳定性。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的广东石墨坩埚、广东石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。